基于双三叉戟亚波长光栅结构的端面耦合器

一种基于双三叉戟亚波长光栅结构的端面耦合器，包括：位于衬底层且对称设置的三个锥形亚波长光栅、三个亚波长光栅波导、若干用于模式转换的锥形波导和直波导，其中：锥形亚波长光栅和对应的亚波长光栅波导相连，锥形波导位于亚波长光栅波导之间，用于光在芯片上传输的直波导及其对应的锥形波导位于端面耦合器的输出端，具有低损耗、大带宽的特点，除了易于制备且与CMOS工艺兼容的同时，还能够实现单模光纤和硅波导之间的高效耦合。