基于硅基纳米梁环路结构的粗波分复用器

一种基于硅基纳米梁环路结构的粗波分复用器及其应用，包括：纳米梁和定向耦合器，其中：纳米梁两侧分别与定向耦合器的两个波导相连，纳米梁为一根刻蚀有若干小孔的直波导，该纳米梁由两个反射镜形成一个法泊腔；通过改变纳米梁的腔长以改变粗波分复用器的中心波长和自由频谱范围。本发明避免了弯曲损耗，进一步减小了器件尺寸，实现了较大的FSR，因此适用于粗波分复用器。