基于碳化硅片上集成的偏振分束旋转器

一种基于碳化硅片上集成的偏振分束旋转器，包括：衬底以及依次设置于其上的掩埋氧化硅层、碳化硅层和设置于碳化硅层上的能够同时传播TE模和TM模的硅波导，该硅波导包括：一个绝热锥度结构和一个非对称定向耦合器，其中：绝热锥度结构在输入端为单模结构，而在另一端为多模结构。本发明通过将光模场局限在碳化硅中使得其优良的光电学特性得以利用在传输过程，利用碳化硅材料的优良特性克服传统硅的部分限制，通过离子切割和层转移技术制备，无需离子注入工艺且与CMOS兼容，制备过程较简单。