一种基于薄膜钽酸锂微环的二次和四次谐波产生方法,包括:位于上下两侧相对设置的两个波导总线以及位于第一波导总线和第二波导总线之间的欧拉曲线微环,其中:S形结构的第一波导总线位于欧拉曲线微环的一侧,U形结构的第二波导总线的drop端位于欧拉曲线微环的另一侧。本发明通过使用微环来代替直波导的结构,增大光与物质之间相互作用的距离,显著提高谐波转换效率。使用欧拉曲线代替圆环波导,减小环内损耗和高阶模激发并使用单次刻蚀方法,制备流程简单,工艺容差更大。
一种基于薄膜钽酸锂微环的二次和四次谐波产生方法,包括:位于上下两侧相对设置的两个波导总线以及位于第一波导总线和第二波导总线之间的欧拉曲线微环,其中:S形结构的第一波导总线位于欧拉曲线微环的一侧,U形结构的第二波导总线的drop端位于欧拉曲线微环的另一侧。本发明通过使用微环来代替直波导的结构,增大光与物质之间相互作用的距离,显著提高谐波转换效率。使用欧拉曲线代替圆环波导,减小环内损耗和高阶模激发并使用单次刻蚀方法,制备流程简单,工艺容差更大。