张永研究员团队项目“亚波长光电子异质集成芯片关键技术与应用”荣获技术发明奖二等奖

项目围绕亚波长尺度的片上光场调控与复用的物理机理，聚焦于20纳米加工精度的核心制备工艺开发，攻克了亚波长光栅和拓扑光子晶体等高精度结构制备的技术难题，突破集成器件在尺寸、功耗和带宽方面的极限，研制出多种类国际领先的亚波长光子集成芯片，建设了多材料异质集成的芯片加工平台，满足了前沿研究对高精度、快速迭代的光芯片加工需求，推动了光子集成芯片的产业应用和创新研究的成果转化。