氮化硅-锆钛酸铅微环及其制造方法

一种氮化硅‑锆钛酸铅微环及其制造方法，包括：设置于二氧化硅层上的锆钛酸铅薄膜以及在锆钛酸铅薄膜上异质集成的氮化硅波导，该氮化硅波导为微环波导与耦合波导组成的微环谐振器。本发明在利用锆钛酸铅高电光系数的同时实现氮化硅波导的低损耗传输。